吉時(shí)利 4200A-SCS 半導(dǎo)體參數(shù)分析儀作為集成式半導(dǎo)體特性分析系統(tǒng)，它可同步實(shí)現(xiàn)直流 I-V、C-V、超快脈沖 I-V 的高精度測量，配備的 Clarius 軟件內(nèi)置數(shù)百種應(yīng)用測試模板，支持模塊化定制升級，可擴(kuò)展SMU、CVU、PMU等全品類模塊，適配從 MOSFET、非易失性存儲器到納米器件、光伏器件的全場景測試需求。

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更新時(shí)間：2026-04-02
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吉時(shí)利 4200A-SCS 半導(dǎo)體參數(shù)分析儀介紹

泰克旗下 Keithley 吉時(shí)利 4200A-SCS 參數(shù)分析儀，作為集成式半導(dǎo)體特性分析系統(tǒng)，它可同步實(shí)現(xiàn)直流 I-V、C-V、超快脈沖 I-V 的高精度測量，配備的 Clarius 軟件內(nèi)置數(shù)百種應(yīng)用測試模板，支持模塊化定制升級，可擴(kuò)展SMU、CVU、PMU等全品類模塊，適配從 MOSFET、非易失性存儲器到納米器件、光伏器件的全場景測試需求。其核心 SMU 模塊可實(shí)現(xiàn) 100fA 的基礎(chǔ)測量分辨率，選配前端放大器后更可達(dá)到 10aA 的靈敏度，長期以來是國內(nèi)高校實(shí)驗(yàn)室、頭部晶圓廠研發(fā)線的 “標(biāo)配" 設(shè)備。

核心參數(shù)

I-V 源測量單元(SMU)
± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模塊
100 fA測量分辨率
選配前端放大器提供了 10 aA測量分辨率
10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測量
100 μF負(fù)載電容
四象限操作
2 線或 4 線連接
C-V 多頻率電容單元(CVU)
AC 阻抗測量 (C-V, C-f, C-t)
1 kHz - 10 MHz 頻率范圍
± 30 V (60 V差分)內(nèi)置DC偏置源，可以擴(kuò)展到± 210 V(420 V 差分)
選配 CVIV 多通道開關(guān)，在 I-V 測量和 C-V 測量之間簡便切換脈沖式I-V 超快速脈沖測量單元(PMU)
兩個(gè)獨(dú)立的或同步的高速脈沖 I-V 源和測量通道
200 MSa/s，5 ns 采樣率
±40 V (80 V p-p)，±800 mA
瞬態(tài)波形捕獲模式
任意波形發(fā)生器 Segment ARB® 模式，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率
高壓脈沖發(fā)生器單元(PGU)
兩個(gè)高速脈沖電壓源通道
±40 V (80 V p-p)，± 800 mA
任意波形發(fā)生器 Segment ARB®模式，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率I-V/C-V 多通道開關(guān)模塊 (CVIV)
在 I-V測量和 C-V 測量之間簡便切換，無需重新布線或抬起探針
把 C-V測量移動(dòng)到任意端子，無需重新布線或抬起探針遠(yuǎn)程前端放大器/ 開關(guān)模塊(RPM)
在 I-V 測量、C-V 測量和超快速脈沖 I-V 測量之間自動(dòng)切換
把 4225-PMU的電流靈敏度擴(kuò)展到數(shù)十皮安
降低電纜電容效應(yīng)

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